下载一种高精确度坩埚轴升降驱动装置的技术资料

文档序号:2479485

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本实用新型涉及升降机构,特别是一种高精确度坩埚轴升降驱动装置。它由坩埚杆、密封圈、大直径油缸、流量调节器、液压站、交流伺服电机和流量控制单元连接,设置将坩埚杆作升降工作,在通过坩埚杆上套有密封圈与大直径油缸连接后,启动伺服电机使液压站运转,...
该专利属于周宁;周建国所有,仅供学习研究参考,未经过周宁;周建国授权不得商用。

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