下载一种籽晶的处理方法及其装置的技术资料

文档序号:24793463

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本发明提供一种籽晶的处理方法和装置,其通过在一圆盘状的石墨盘片中心处设置凹槽,用来固定籽晶,并使籽晶的下表面(非生长面)紧贴石墨盘片的多孔凹槽,采用PVT法升华原料,使升华的气体通过多孔,然后通过调节温度、压力以及处理时间,在籽晶的下表面(...
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