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一种籽晶的处理方法及其装置制造方法及图纸
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文档序号:24793463
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本发明提供一种籽晶的处理方法和装置,其通过在一圆盘状的石墨盘片中心处设置凹槽,用来固定籽晶,并使籽晶的下表面(非生长面)紧贴石墨盘片的多孔凹槽,采用PVT法升华原料,使升华的气体通过多孔,然后通过调节温度、压力以及处理时间,在籽晶的下表面(...
该专利属于上海联兴商务咨询中心所有,仅供学习研究参考,未经过上海联兴商务咨询中心授权不得商用。
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