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一种用于晶体生长的防遮挡测温装置，属于坩埚温控技术领域，本发明为了解决传统坩埚测温结构上的测温窗表面容易被遮蔽，影响测温，影响晶体生长质量的问题。坩埚上设有坩埚盖，测温法兰通过导向筒与坩埚内部连通，测温法兰内设有测温通路，测温通路顶部设有反...该专利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司授权不得商用。