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本发明涉及一种可提升单面PERC电池转换效率的背膜制备方法。它包括制备氧化铝膜、背面制备氧化硅膜、背面制备氮氧化硅膜、背面制备双层氮化硅膜。现有生产工艺得到的硅片背膜结构一般只有氧化铝层和氮化硅层,本发明提供的方法使背膜增加了高致密性氮氧化...该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种可提升单面PERC电池转换效率的背膜制备方法。它包括制备氧化铝膜、背面制备氧化硅膜、背面制备氮氧化硅膜、背面制备双层氮化硅膜。现有生产工艺得到的硅片背膜结构一般只有氧化铝层和氮化硅层,本发明提供的方法使背膜增加了高致密性氮氧化...