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一种有序排布金刚石微纳米锥阵列工具的制备方法，其特征是通过在衬底上沉积纳米金刚石薄膜，使用超短脉冲激光等方法制备孔径与位置可控的微孔阵列溅射掩膜板，使用磁控溅射设备通过微孔阵列掩膜板在纳米金刚石薄膜上沉积有序排布的金属掩膜点阵列。使用微波化...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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