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能够高精度地进行成膜工序中使用的基板与掩模的对准。在基板(1)的长边部，利用基板承受爪(26a、26b)支承基板(1(S101)。基板(1)因自重而成为挠曲形状。在基板(1)的挠曲形状的中央最低部和长边部，将基板(1)夹紧(S102、S10...
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