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本发明的目的在于，提供可以在缩小氧化锌或包含氧化锌的透明金属氧化物膜与银或银合金膜相邻的层压膜的侧面蚀刻差的同时，简单且经济地进行蚀刻的蚀刻液组合物。本发明涉及用于同时蚀刻氧化锌或包含氧化锌的透明金属氧化物膜与银或银合金膜相邻的层压膜底板的...
该专利属于关东化学株式会社;AGC株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过关东化学株式会社;AGC株式会社授权不得商用。

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