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本发明公开了一种交换版机械手移入移出装置，包括：底座、定位销、水平导轨、垂直导轨、转臂、转轴和传动机构，底座上安装交换版机械手；定位销设置在底座上与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；水平导轨与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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