交换版机械手移入移出装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种交换版机械手移入移出装置，包括：底座、定位销、水平导轨、垂直导轨、转臂、转轴和传动机构，底座上安装交换版机械手；定位销设置在底座上与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；水平导轨与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；垂直导轨与水平导轨垂直设置，其上滑动设置有第二滑块；转臂分别与第一滑块和第二滑块连接；转轴与垂直导轨固定连接，转轴两端设置有上轴端和下轴端，转轴通过上轴端和下轴端与底座连接；传动机构用于在驱动力作用下带动垂直导轨和转轴沿竖直方向上下移动。上述的交换版机械手移入移出装置能够提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。

【技术实现步骤摘要】
交换版机械手移入移出装置
本专利技术涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种交换版机械手移入移出装置。
技术介绍
光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到基底区域的设备。掩模传输分系统负责掩模物料在曝光成像单元和物料接口之间的传送，是光刻设备的重要组成部分。交换版机械手作为掩模传输分系统对接掩模台分系统的接口，为实现功能需要其部分嵌入到掩模台分系统内部工作。为实现掩模台分系统和交换版机械手的维修维护，需要将交换版机械手移动到整机外部进行维修维护，维修维护结束后，再将交换版机械手重新移入到掩模台分系统内部，为确保交换版机械手的安装定位精度，需保证一定的定位重复性。传统技术中通过人工将交换版机械手从掩模台分系统内移入移出，为保证定位重复性，将交换版机械手移入掩模台分系统内时需要反复进行位置对准操作，人工劳动强度大，且对准效率低，导致掩模台分系统和交换版机械手维修维护时间长，大大影响了光刻设备的产率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种交换版机械手移入移出装置，能够实现交换版机械手移入掩模台分系统内时快速精准定位，提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种交换版机械手移入移出装置，包括：底座，其上安装交换版机械手；定位销，设置在底座上，被配置为与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；水平导轨，与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；垂直导轨，其上滑动设置有第二滑块；转臂，分别与第一滑块和第二滑块连接；转轴，与垂直导轨固定连接，转轴两端设置有上轴端和下轴端，转轴通过上轴端和下轴端与底座连接；上轴端和下轴端均具有轴接状态和脱轴状态，当定位销与承载框架连接时，上轴端和下轴端均处于脱轴状态；当定位销从承载框架上取下后，上轴端和下轴端均处于轴接状态，底座能够绕上轴端和下轴端旋转；传动机构，分别与转臂和转轴连接，用于在动力源的驱动力作用下带动垂直导轨和转轴沿竖直方向上下移动。在其中一个实施例中，上轴端包括：上轴承座、上轴肩、第一圆锥滚子轴承和限位件，上轴承座与底座连接，上轴肩与转轴连接，第一圆锥滚子轴承的外圈与上轴承座连接，第一圆锥滚子轴承的内圈与上轴肩连接，限位件穿过上轴承座与第一圆锥滚子轴承的内圈连接。在其中一个实施例中，下轴端包括：下轴承座、第二圆锥滚子轴承和下轴肩，下轴承座与底座连接，第二圆锥滚子轴承的外圈与下轴承座连接，下轴肩由上至下依次穿过底座和下轴承座与第二圆锥滚子轴承的内圈连接。在其中一个实施例中，下轴端还包括内圈挡套、固定件和弹簧，内圈挡套一端与第二圆锥滚子轴承的内圈连接，另一端通过固定件与下轴肩连接，弹簧设置在内圈挡套和固定件之间。在其中一个实施例中，第一圆锥滚子轴承和第二圆锥滚子轴承均采用内圈位于外圈下方的方式布置。在其中一个实施例中，传动机构包括：齿轮箱和梯形丝杆，齿轮箱设置在转轴上端，梯形丝杆包括丝母和丝杆，丝母与转臂连接，丝杆一端与齿轮箱连接，另一端穿过丝母与转轴的下端连接。在其中一个实施例中，传动机构还包括手柄，手柄与齿轮箱连接。在其中一个实施例中，齿轮箱包括相互垂直设置的第一伞齿轮和第二伞齿轮。在其中一个实施例中，底座上朝向承载框架的一侧设置有支撑杆；或，承载框架上朝向底座的一侧设置有支撑杆。在其中一个实施例中，定位销为球头定位销。在其中一个实施例中，还包括锁紧旋钮，锁紧旋钮被配置为当底座旋转到位后将底座与上轴端锁紧。在其中一个实施例中，还包括锁紧旋钮，锁紧旋钮被配置为当底座旋转到位后将底座与下轴端锁紧。上述的交换版机械手移入移出装置使用时将交换版机械手安装在底座上，水平导轨与承载框架固定连接，交换版机械手正常工作时，定位销插入承载框架上的销孔内，底座与承载框架固定连接，上轴端和下轴端均处于脱轴状态。当需要对交换版机械手或掩模台分系统进行维护时，通过动力源对传动机构提供驱动力，垂直导轨在驱动力作用下相对第二滑块向上滑动，垂直导轨向上滑动带动转轴向上移动，底座随转轴一起向上移动，随底座逐渐上移，定位销也随之向上移动而从销孔内移出，此时上轴端和下轴端均进入轴接状态，底座可绕上轴端和下轴端旋转；当定位销从销孔内移出后，沿水平方向推动转臂或底座，转臂带动第一滑块在水平导轨上滑动将底座平移到承载框架边缘，之后，转动底座，使底座绕上轴端和下轴端旋转将底座移出，底座移出后即可对底座和掩模台分系统进行维修维护操作。进一步地，完成维修维护操作后，先将底座旋转归位后再将底座平移回安装位置，使定位销位于销孔上方，之后，通过动力源对传动机构提供驱动力，使垂直导轨在驱动力作用下相对第二滑块向下滑动，将定位销插入销孔内，并且直至上轴端和下轴端处于脱轴状态后停止输出驱动力，完成交换版机械手移入操作。上述的交换版机械手移入移出装置将底座移动到承载框架边缘后进行旋转移出，能够确保底座不会与承载框架发生干涉，并且，移入过程中通过定位销与销孔进行移入定位，能够实现快速精准定位，确保定位重复性。综上所述，上述的交换版机械手移入移出装置能够实现交换版机械手快速、准确从掩模台分系统移入移出，操作简单方便，能够提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。附图说明图1是一个实施例中交换版机械手移入移出装置的结构示意图；图2是一个实施例中交换版机械手移入移出装置与承载框架连接的结构剖视图；图3是一个实施例中上轴端处于脱轴状态的结构示意图；图4是一个实施例中下轴端处于脱轴状态的结构示意图；图5是一个实施例中上轴端处于轴接状态的结构示意图；图6是一个实施例中下轴端处于轴接状态的结构示意图；图7是又一个实施例中交换版机械手移入移出装置的结构示意图。附图标记说明：10-底座，20-定位销，30-水平导轨，40-垂直导轨，50-转臂，60-转轴，70-上轴端，80-下轴端，90-齿轮箱，110-丝杆，120-丝母，130-手柄，140-锁紧旋钮，200-承载框架，300-支撑杆；31-第一滑块，71-上轴承座，72-上轴肩，73-第一圆锥滚子轴承，74-限位件，75-第一锁紧螺钉，81-下轴承座，82-下轴肩，83-第二圆锥滚子轴承，84-内圈挡套，85-固定件，86-弹簧，87-第二锁紧螺钉，91-第一伞齿轮，92-第二伞齿轮；731-第一圆锥滚子轴承73的外圈，732-第一圆锥滚子轴承73的内圈，831-第二圆锥滚子轴承83的外圈，832-第二圆锥滚子轴承83的内圈。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种交换版机械手移入移出装置，其特征在于，包括：/n底座(10)，其上安装交换版机械手；/n定位销(20)，设置在所述底座(10)上，被配置为与掩模台分系统的承载框架(200)可拆卸连接；/n水平导轨(30)，与所述承载框架(200)固定连接，所述水平导轨上滑动设置有第一滑块(31)；/n垂直导轨(40)，其上滑动设置有第二滑块；/n转臂(50)，分别与所述第一滑块(31)和所述第二滑块连接；/n转轴(60)，与所述垂直导轨(40)固定连接，所述转轴(60)两端设置有上轴端(70)和下轴端(80)，所述转轴(60)通过所述上轴端(70)和所述下轴端(80)与所述底座(10)连接；所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均具有轴接状态和脱轴状态，当所述定位销(20)与所述承载框架(200)连接时，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于脱轴状态；当所述定位销(20)从所述承载框架(200)上取下后，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于轴接状态，所述底座(10)能够绕所述上轴端(70)和所述下轴端(80)旋转；/n传动机构，分别与所述转臂(50)和所述转轴(60)连接，用于在动力源的驱动力作用下带动所述垂直导轨(40)和所述转轴(60)沿竖直方向上下移动。/n...

【技术特征摘要】
1.一种交换版机械手移入移出装置，其特征在于，包括：
底座(10)，其上安装交换版机械手；
定位销(20)，设置在所述底座(10)上，被配置为与掩模台分系统的承载框架(200)可拆卸连接；
水平导轨(30)，与所述承载框架(200)固定连接，所述水平导轨上滑动设置有第一滑块(31)；
垂直导轨(40)，其上滑动设置有第二滑块；
转臂(50)，分别与所述第一滑块(31)和所述第二滑块连接；
转轴(60)，与所述垂直导轨(40)固定连接，所述转轴(60)两端设置有上轴端(70)和下轴端(80)，所述转轴(60)通过所述上轴端(70)和所述下轴端(80)与所述底座(10)连接；所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均具有轴接状态和脱轴状态，当所述定位销(20)与所述承载框架(200)连接时，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于脱轴状态；当所述定位销(20)从所述承载框架(200)上取下后，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于轴接状态，所述底座(10)能够绕所述上轴端(70)和所述下轴端(80)旋转；
传动机构，分别与所述转臂(50)和所述转轴(60)连接，用于在动力源的驱动力作用下带动所述垂直导轨(40)和所述转轴(60)沿竖直方向上下移动。


2.根据权利要求1所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述上轴端(70)包括：上轴承座(71)、上轴肩(72)、第一圆锥滚子轴承(73)和限位件(74)，所述上轴承座(71)与所述底座(10)连接，所述上轴肩(72)与所述转轴(60)连接，所述第一圆锥滚子轴承(73)的外圈(731)与所述上轴承座(71)连接，所述第一圆锥滚子轴承(73)的内圈(732)与所述上轴肩(72)连接，所述限位件(74)穿过所述上轴承座(71)与所述第一圆锥滚子轴承(73)的内圈(732)连接。


3.根据权利要求2所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述下轴端(80)包括：下轴承座(81)、第二圆锥滚子轴承(83)和下轴肩(82)，所述下轴承座(81)与所述底座(10)连接，所述第二圆锥滚子轴承(83)的外圈(831)与所述下轴承座(81)连接，所述下轴肩(82)由上至下依次穿过所述底座(10)和所述下轴承座(81)与所述第二圆锥滚子轴承(83)的内圈(832)连接。
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李洋，郑锋标，郝凤龙，庞飞，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31