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本实用新型涉及一种托盘、用于传送基片的机器人和半导体工艺机台，半导体工艺机台包括机器人，机器人包括手臂以及托盘，托盘与机械臂的末端可拆卸地连接。而托盘用于支撑并固定基片，包括内部形成有真空通道的本体，本体上设置有真空吸附结构。真空吸附结构包...
该专利属于中芯集成电路制造(绍兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造(绍兴)有限公司授权不得商用。

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