下载一种安全型静电吸附系统的技术资料

文档序号:24778316

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本实用新型涉及一种安全型静电吸附系统,包括静电发生器和静电吸附组件,该静电吸附组件包括至少一组正极片和负极片;所述正极片和负极片均与静电发生器电连接,所述正极片和负极片之间连接有用于检测静电场的静电检测装置,该静电检测装置包括基座和受静电场...
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