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本实用新型公开了一种半导体设备专用高精度耐腐防变形机架总成，包括机架以及机架中心处设置第一夹板以及第二夹板，所述第二夹板左侧设置有推板，且推板与第二夹板之间滑动连接有交叉架的顶端，并且推板与第二夹板之间通过压缩弹簧弹性连接，所述推板中心处通...
该专利属于南通通州东大机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通通州东大机械有限公司授权不得商用。

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