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本发明的目的是提一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置。热处理装置（１）包括具有用于向基板处理部（５）供给热风的热风供给部件（１４）的空气调整部（１１）、以及用于对基板进行热处理的热...
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