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本发明提供一种可以很好地防止通过第１梁以及第２梁的协作而被输送的基板的偏移、脱落的步进式热处理装置。根据步进式热处理装置１０，由于在用于协作地输送共通的基板１６的固定梁（第１梁）２０以及可动梁（第２梁）２２中位于外侧的固定梁２０上，具备与由...
该专利属于诺利塔克股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺利塔克股份有限公司授权不得商用。

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