下载一种提高直拉硅单晶炉热场部件寿命的方法及单晶炉的技术资料

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一种提高直拉硅单晶炉热场部件寿命的方法及单晶炉,所述的方法是将炉内气体从位于热场上方侧壁的排气孔排出的方法;所述的单晶炉包括:石英坩埚、石墨坩埚、加热器、保温材料、金属筒、筒盖、热屏,其特征在于:在金属筒筒体的上部连接一带排气孔的上筒体。本...
该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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