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宽带隙半导体装置制造方法及图纸
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下载宽带隙半导体装置的技术资料
文档序号:24767378
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本发明的宽带隙半导体装置,包括:使用第一导电型的宽带隙半导体材料的漂移层12;由形成在所述漂移层12上的第二导电型构成的多个阱区20;所述阱区20以及所述漂移层12中设置在所述阱区20之间的多晶硅层150;设置在所述多晶硅层150上的层间绝...
该专利属于新电元工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新电元工业株式会社授权不得商用。
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