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含有自对准互锁接合结构的三维存储器装置及其制造方法制造方法及图纸
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下载含有自对准互锁接合结构的三维存储器装置及其制造方法的技术资料
文档序号:24767359
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第一衬底具有从第一接合侧平面表面突出的第一台面结构。第一金属衬垫结构嵌入在所述第一台面结构内。第二衬底具有从第二接合侧平面表面凹陷的第一凹部空腔。第二金属衬垫结构位于所述第一凹部空腔的凹陷区处。使所述第一接合侧平面表面和所述第二接合侧平面表...
该专利属于桑迪士克科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过桑迪士克科技有限责任公司授权不得商用。
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