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本发明涉及含有三甲硅烷基胺化合物的含硅薄膜蒸镀用组合物以及利用其的含硅薄膜的制造方法，更详细地，提供在低温下能够以非常优异的蒸镀速度形成含硅薄膜而能够作为含硅薄膜的前体和显示器的封装材料有效使用的含有三甲硅烷基胺化合物的含硅薄膜蒸镀用组合物...
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