下载控制电路与表面声波滤波器的集成方法和集成结构的技术资料

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一种控制电路与表面声波(SAW)滤波器的集成方法和集成结构。该集成方法包括:提供基底,基底形成有控制电路;在基底上形成空腔;提供SAW谐振片,SAW谐振片的表面设有输入电极、输出电极;将SAW谐振片的表面朝向基底,使SAW谐振片键合于基底且...
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