下载一种晶棒开方上料夹持装置的技术资料

文档序号:24762327

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本实用新型涉及一种晶棒开方上料夹持装置,属于晶硅加工技术领域,包括底座,所述底座上设有工作台和对中组件,所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件,支撑座用于支撑晶棒,上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部,对中组件用于夹持位于...
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