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北京嘉圣光通科技有限公司
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一种垂直腔面发射激光器制造技术
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文档序号:24762259
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本发明提供了一种垂直腔面发射激光器,包括:衬底、在衬底的正面依次外延生长的缓冲层、第一分布式布拉格反射镜、谐振腔、电绝缘介质掩膜层、p型电极、第二分布式布拉格反射镜;以及,在衬底的背面生长的电极;谐振腔包括:位于第一分布式布拉格反射镜上的下...
该专利属于北京嘉圣光通科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京嘉圣光通科技有限公司授权不得商用。
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