下载光电探测器、其制备方法及光电探测装置的技术资料

文档序号:24761316

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本发明公开了一种光电探测器、其制备方法及光电探测装置,本发明通过在衬底基板上直接形成感光半导体层,以及在形成有感光半导体层的衬底基板上形成电极层,即本发明采用在衬底基板上先形成感光器件,再形成开关晶体管,这样可以提高感光器件中各膜层的均匀性...
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