下载感光传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板的技术资料

文档序号:24761314

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本申请揭露一种感光传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板,通过离子植入的方式,在同一层多晶硅表面分别形成N型区和P型区,兼容了离子植入的工艺;并在多晶硅上方覆盖一层非晶硅感光层,增强了吸收光能力,可增加光生电子‑空穴对,且水平方向和垂直方向...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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