感光传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板技术

本申请揭露一种感光传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板，通过离子植入的方式，在同一层多晶硅表面分别形成N型区和P型区，兼容了离子植入的工艺；并在多晶硅上方覆盖一层非晶硅感光层，增强了吸收光能力，可增加光生电子‑空穴对，且水平方向和垂直方向上均存在内建电场，可更加有效地分离电子‑空穴对，增大光生电流，提高指纹识别的精度。

Photosensitive sensor and its preparation method, array substrate and display panel

【技术实现步骤摘要】
感光传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板
本申请涉及半导体
，尤其涉及一种感光传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板。
技术介绍
指纹是人体与生俱来独一无二并可与他人相区别的不变特征。指纹图案具有唯一性，它由指端皮肤表面上的一系列脊和谷组成，由之发展起来的指纹识别技术是较早被用作为个人身份验证的技术。目前，指纹识别技术已广泛应用于中小尺寸的面板中，其中主要有电容式、超声波式和光学式等几种方式。相比于电容式和超声波式指纹识别技术，光学指纹识别稳定性好、抗静电能力强、穿透能力好且成本较低。光学指纹识别技术利用光的折射和反射原理，当光照射到手指上，经手指反射后由感光传感器(sensor)接收，感光传感器可将光信号转换为电学信号，从而进行读取。由于指纹谷和脊对光的反射不同，感光传感器所接收到谷和脊的反射光强不同，所转换的电流或者电压的大小也就不同，因此可以抓取指纹中的特殊点，提供唯一性的确认信息。对于光学指纹识别技术，感光传感器是实现光信号转换为可以直接读取的电信号的关键模块。传统的感光传感器结构为非晶硅(a-Si)材质的垂直型PIN型本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n在一衬底基板上形成一第一绝缘层；/n在所述第一绝缘层上形成一多晶硅层，并对所述多晶硅层进行图案化，形成一第一区、一第二区以及夹在所述第一区与所述第二区之间的一第三区；/n采用离子植入的方式，对所述多晶硅层的所述第一区进行第一离子掺杂形成P型区，及对所述多晶硅层的所述第二区进行第二离子掺杂形成N型区；/n在所述多晶硅层上形成一感光层，所述感光层覆盖所述第三区并分别向所述P型区及所述N型区延伸，所述第三区形成I型区；/n在所述感光层上形成一第二绝缘层，并在所述第二绝缘层上对应所述P型区的区域内形成一第一连接孔，及在对应所述N型区的区域内形...

【技术特征摘要】
1.一种感光传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
在一衬底基板上形成一第一绝缘层；
在所述第一绝缘层上形成一多晶硅层，并对所述多晶硅层进行图案化，形成一第一区、一第二区以及夹在所述第一区与所述第二区之间的一第三区；
采用离子植入的方式，对所述多晶硅层的所述第一区进行第一离子掺杂形成P型区，及对所述多晶硅层的所述第二区进行第二离子掺杂形成N型区；
在所述多晶硅层上形成一感光层，所述感光层覆盖所述第三区并分别向所述P型区及所述N型区延伸，所述第三区形成I型区；
在所述感光层上形成一第二绝缘层，并在所述第二绝缘层上对应所述P型区的区域内形成一第一连接孔，及在对应所述N型区的区域内形成一第二连接孔；以及
在所述第二绝缘层上形成一电极层，所述电极层包括第一电极及一第二电极，其中，所述第一电极通过所述第一连接孔连接所述P型区，所述第二电极通过所述第二连接孔连接所述N型区。


2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，通过两道光罩工艺分别进行所述第一离子与所述第二离子的离子植入。


3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，
所述的对所述多晶硅层进行图案化，形成一第一区、一第二区以及夹在所述第一区与所述第二区之间的一第三区的步骤中，所形成的第三区为空白区域；以及
所述的在所述多晶硅层上形成一感光层的步骤中，形成所述感光层的材料进一步填充所述第三区，以在所述第三区形成I型区。


4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的对所述多晶硅层进行图案化，形成一第一区、一第二区以及夹在所述第一区与所述第二区之间的一第三区的步骤中，所形成的第三区...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖军城，艾飞，宋继越，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42