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文档序号:24761242

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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,所述基底包括用于形成器件的器件区以及位于器件区两侧的隔离区;图形化所述基底,形成衬底、以及凸出于所述衬底的鳍部;在所述器件区两侧形成凸出于所述隔离区衬底的第一伪鳍部;在所述鳍部和第一伪鳍部...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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