下载一种沟槽型器件及其制备方法的技术资料

文档序号:24761213

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本申请涉及半导体制造领域,特别是一种沟槽型器件及其制备方法,包括衬底,所述衬底上设置有体区,所述体区上设置有第二导电层,所述第二导电层中设置有第一绝缘介质层,第一绝缘介质层下方设置有栅极介质层,栅极介质层下方设置有第二绝缘介质层,所述第一绝...
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