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本发明公开了一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，包括氧化箱，氧化箱上设置有密封机构，密封机构上设置有转动机构，转动机构与驱动机构相连接，转动机构固定连接在氧化箱的外壁上，本发明通过设置的电机带动转轴转动，转轴带动卡接块转动，卡接块通过卡接...
该专利属于胡艺可所有，仅供学习研究参考，未经过胡艺可授权不得商用。

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