下载一种六面包围嵌入式封装方法的技术资料

文档序号:24760901

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本发明实施例公开了一种六面包围嵌入式封装方法,包括以下步骤:A,在嵌入转接板制作TSV铜柱,减薄转接板另一面,露出铜柱底端;B,在转接板表面刻蚀空腔,腐蚀空腔内铜柱;C,空腔内嵌入芯片,在芯片与空腔的缝隙中间填充胶体固化,在芯片表面做RDL...
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