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一种六面包围嵌入式封装方法技术
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文档序号:24760901
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本发明实施例公开了一种六面包围嵌入式封装方法,包括以下步骤:A,在嵌入转接板制作TSV铜柱,减薄转接板另一面,露出铜柱底端;B,在转接板表面刻蚀空腔,腐蚀空腔内铜柱;C,空腔内嵌入芯片,在芯片与空腔的缝隙中间填充胶体固化,在芯片表面做RDL...
该专利属于浙江集迈科微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江集迈科微电子有限公司授权不得商用。
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