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一种基于超构表面的正交偏振光成像衍射光学器件制造技术
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下载一种基于超构表面的正交偏振光成像衍射光学器件的技术资料
文档序号:24754547
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本发明提出了一种基于超构表面的正交偏振光成像衍射光学器件,由衬底和以阵列形式布设于所述衬底表面的亚波长光学天线组成;亚波长光学天线阵列为二维阵列,分别以平行于亚波长光学天线阵列行和列的方向作为x轴和y轴;各光学天线沿xy平面的横截面形状均具...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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