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本发明提供了一种靶材缺陷的检测方法，所述方法包括以下步骤：将靶材组件组装完成后，采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测；其中，所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。本发明所述方法通过超声波探伤仪对靶材组件内的缺陷进行检测，...
该专利属于合肥江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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