一种靶材缺陷的检测方法技术

本发明专利技术提供了一种靶材缺陷的检测方法，所述方法包括以下步骤：将靶材组件组装完成后，采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测；其中，所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。本发明专利技术所述方法通过超声波探伤仪对靶材组件内的缺陷进行检测，针对不同类型的靶材可快速调节检测参数，提高了靶材检测的速率和精确性，检测时间可减少50％左右；所述方法操作简单，方便快捷，设备及操作成本低。

A detection method of target defect

【技术实现步骤摘要】
一种靶材缺陷的检测方法
本专利技术属于靶材制备
，涉及一种靶材缺陷的检测方法。
技术介绍
近年来，随着市场对平面显示器需求的不断扩大，其生产所需靶材的需求也相应扩大，靶材的生产工艺主要包括冶金烧结、热轧处理、退火处理、后续加工等工序，而由于靶材组件的组装过程中需要焊接等步骤，为了保证靶材溅射过程中的稳定使用，需要提前进行检测，对可能存在的内部异物或存在的缺陷进行检测，以保证靶材的成品率。现有靶材的检测技术所需时间较长，造成产品生产效率低，周转速度慢，难以满足当前生产总量的需求，因此如何提高靶材的检测速率是目前需要解决的问题。通常靶材的缺陷或损伤检测通常采用超声波探伤仪，以实现靶材的无损检测，超声波探伤是利用超声波在进入不同声速的介质层时会出现不同高度的回波来判断检测工件表面及内部是否存在缺陷，具有探伤灵敏度高、周期短、成本低与效率高等优点。然而由于靶材种类的多样性，对于特定种类靶材的检测参数往往难以确定，既影响检测准确性，又影响检测速率。CN103792285A公开了一种靶材组件的焊接缺陷率和结合率的检测方法，包括提供标准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：/n将靶材组件组装完成后，采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测；/n其中，所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
将靶材组件组装完成后，采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测；
其中，所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。


2.根据权利要求1所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述靶材组件包括靶材和背板，两者通过焊接进行组装；
优选地，所述靶材包括Al靶材、Cu靶材、Mo靶材、Ti靶材或MoNb合金靶材中的任意一种或至少两种的组合。


3.根据权利要求1或2所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述靶材组件进行检测前，先进行标准件的检测；
优选地，所述标准件的材质、制备工艺与靶材组件相同。


4.根据权利要求3所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述标准件的缺陷面积已知，得出理论缺陷值；
优选地，采用超声波探伤仪对标准件进行多次检测，得出多个测试缺陷值，选择与理论缺陷值偏差在±0.5％范围内的测试缺陷值时的检测条件为靶材组件的检测条件。


5.根据权利要求1-4任一项所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述靶材组件进行检测时，以水为介质；
优选地，所述靶材组件浸入水中的距离为75～105mm。


6.根据权利要求1-5任一项所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪包括超声波探头，所述超声波探头位于靶材组件的上方；
优选地，所述超声波探头...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，窦兴贤，王学泽，王青松，周莎莎，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34