下载一种半导体芯片字符表面缺陷管脚缺陷检测光源的技术资料

文档序号:24753577

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本发明提出一种半导体芯片字符表面缺陷管脚缺陷检测光源,包括第一光学组件、第二光学组件和散光板;第一光学组件后端安装有散光板,前端和第二光学组件连接;第一光学组件包括方形光源壳和贴片LED灯,方形光源壳内侧安装有贴片LED灯;第二光学组件包括...
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