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本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别...该专利属于东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。