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一种ALD辅助氮掺杂微纳铝粉制备多孔阳极铝箔的方法技术
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下载一种ALD辅助氮掺杂微纳铝粉制备多孔阳极铝箔的方法的技术资料
文档序号:24748411
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本发明公开了一种ALD辅助氮掺杂微纳铝粉制备多孔阳极铝箔的方法,首先利用铝粉或铝合金粉末对铝箔进行涂覆处理,再通过ALD技术,辅以等离子体增强,以铝金属有机化合物作为前驱体,在电极箔表面沉积一层氮化铝,经过高温煅烧、阳极氧化、退火、补形成,...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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