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本发明提供一种负离子生成装置，用于向对象物照射负离子，具备：等离子体源，向真空腔室内供给等离子体；以及使所述真空腔室内的等离子体的电子温度下降的单元。...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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