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本发明提供了一种碳膜沉积装置，包括：真空腔室、设置于真空腔室顶部的抽真空装置、设置于真空腔室一侧的磁过滤装置，真空腔室与磁过滤装置相对的一侧设有进气口。磁过滤装置包括磁过滤弯管、与磁过滤弯管连通的磁过滤直管、设置在磁过滤弯管外侧的聚焦磁场、...
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