下载多线切割装置及多线切割方法的技术资料

文档序号:24742408

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本发明涉及一种多线切割装置,包括:切割结构,包括至少两个线辊,和缠绕于至少两个线辊上的多条切割线;晶棒固定结构,包括沿第一方向相对设置的两个支撑部,两个支撑部分别位于切割线的两侧,每个支撑部包括多个沿第二方向并排设置的多个支撑板,每条切割线...
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