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一种高效电磁屏蔽的MEMS麦克风外壳装置制造方法及图纸
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下载一种高效电磁屏蔽的MEMS麦克风外壳装置的技术资料
文档序号:24737636
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本实用新型公开了一种高效电磁屏蔽的MEMS麦克风外壳装置,包括PCB基板、MEMS芯片、ASIC芯片、键合线和外壳;所述外壳设为两层,分别为内层外壳和外层外壳,所述外层外壳和内层外壳之间形成屏蔽腔;所述MEMS芯片和ASIC芯片分别通过粘合...
该专利属于深圳市富民微科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市富民微科技有限公司授权不得商用。
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