下载一种新型纳米压印样品加热装置的技术资料

文档序号:24733012

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本实用新型公开了一种新型纳米压印样品加热装置。包括基座壳体、密封腔体、加热单元和真空单元;基座壳体,基座壳体的外部顶面开设有用于固定密封腔体的卡槽;密封腔体,由密封外壳和布置在密封外壳内表面的隔热层形成,使加热单元与外界空气隔离;加热单元,...
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