温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

为了提供一种构造简单并且能够有效密封处理腔(104)的处理设备(100)提出了，处理设备(100)包括：用于容置待处理的工件(102)的处理腔(104)；运输装置(110)，待处理的工件(102)能借助所述运输装置被运输穿过所述处理腔(10...
该专利属于杜尔系统股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过杜尔系统股份公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。