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为了实现几乎没有热损失的、具有高洁净性能的、而且降低设备负担的洁净烘箱，本发明的洁净烘箱（１）中，在环境气体的压力相等的连接部（Ｂ）和连接部（Ｃ）处，使设置于炉外的输送管（１１）与炉内连接，以连接该连接部（Ｂ）和连接部（Ｃ），输送管（１１）...
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