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本发明提供一种附设于热处理单元上的气体处理单元。热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，所收容的被热处理物可从热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与热处理室连通。气体处理单元包括：气体通道，具有通过第一连接部可拆卸地与气体导入部...
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