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本发明提供了一种晶圆旋转装置，包括：基座、设置于所述基座上的旋转构件、以及设置于旋转构件上的晶圆承载件。所述基座包括多个第一磁性组件。所述旋转构件包括多个第二磁性组件。所述晶圆承载件用以承载晶圆。...
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