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一种静电卡盘，包括：一卡盘本体；至少一隔离环，穿设于所述卡盘本体中，每一所述隔离环用于将所述卡盘本体划分为两个卡盘区，两个所述卡盘区分别位于所述隔离环的内侧和外侧且相互电性隔绝；以及一偏置射频功率源，通过一功率分配器连接每一所述卡盘区，所述...
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