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一种对准方法,包括:获取包括多组不同对准参数间对应关系的对应关系表,对准参数包括对准标记类型、激光类型及对准标记位置组;随机调用对应关系表中的一组对应关系形成一对准方案;及根据对准方案执行对准操作,其中如果对准操作的执行时间超过预设时间,则...该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。
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一种对准方法,包括:获取包括多组不同对准参数间对应关系的对应关系表,对准参数包括对准标记类型、激光类型及对准标记位置组;随机调用对应关系表中的一组对应关系形成一对准方案;及根据对准方案执行对准操作,其中如果对准操作的执行时间超过预设时间,则...