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本发明提供了一种用于将光罩的图案转印到晶圆上的曝光装置。光罩在其一侧具有形成图案的金属层。图案包括至少一个电路图案以及至少一个对准标记。曝光装置包括曝光光源、对准光源、光罩台以及对准传感器。曝光光源配置成提供第一光线以曝光光罩的图案。对准光...
该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。

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