下载一种用于光刻胶剥离的水性剥离液的技术资料

文档序号:24706463

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本发明公开了一种用于光刻胶剥离的水性剥离液,所述的水性剥离液由重量份5‑18%的有机胺化合物、重量份55‑75%的有机溶剂、重量份0.2‑10%的添加剂、重量份0.1‑3%的金属抗蚀剂以及余量的水组成;本申请的水性剥离液通过增加有机胺化合物...
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