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一种用于半导体器件的显影装置，包括：显影腔室，用于容置待加工半导体器件；显影模块，用于朝向所述待加工半导体器件输送显影液；清洗模块，包括：第一驱动件；连接于所述第一驱动件的第一驱动臂；连接于所述第一驱动臂的清洗液喷嘴和气体喷嘴；所述清洗液喷...
该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。

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