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本发明提供一种产生双图案光罩的处理方法。处理方法包括取得接触窗分布图案，该接触窗分布图案包含多个接触窗。对该多个接触窗依照接触窗种类分类成阵列型、成对型、或是独立型的多个接触窗区块。拆解该多个接触窗成为第一图案群与第二图案群，其之间是交叉配...
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