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本发明公开了一种透过率调整装置,包括:旋转中心区域,以及围绕旋转中心区域设置的环形结构;环形结构包括透过率调整区和完全透光区;透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接;透过率调整区垂直于旋...该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种透过率调整装置,包括:旋转中心区域,以及围绕旋转中心区域设置的环形结构;环形结构包括透过率调整区和完全透光区;透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接;透过率调整区垂直于旋...